Растровый электронный микроскоп Verios 5 XHR SEM

Оставить заявку

Электронная микроскопия и анализ поверхности

Растровые электронные микроскопы

Растровый электронный микроскоп Verios 5 XHR SEM

Описание

Техническая характеристика

Сканирующий электронный микроскоп Verios 5 XHR

Verios 5 XHR SEM предлагает субнанометровое разрешение в полном диапазоне энергии от 1 кэВ до 30 кэВ с отличной контрастностью материалов. Беспрецедентные уровни автоматизации и простоты использования делают эту производительность доступной для пользователей любого уровня опыта.

Сканирующая электронная микроскопия

• Визуализация высокого разрешения с монохроматическим электронным источником UC+ для субнанометровой производительности от 1-30 кВ.

• Высокая контрастность на чувствительных материалах с отличной производительностью до 20 эВ энергии посадки и высокочувствительными детекторами, фильтрацией сигнала для работы с низкой дозой.

• Электронная колонна Elstar с технологиями SmartAlign и FLASH.

• Последовательные результаты измерений с помощью линз ConstantPower, электростатического сканирования и пьезоэлектрических манипуляторов.

• Гибкость выбора аксессуаров и большая камера.

• Автоматизация с помощью программного обеспечения Thermo Scientific AutoScript 4, дополнительного интерфейса прикладного программирования на основе Python.

Технология SmartAlign

Технология SmartAlign устраняет необходимость в любом пользовательском выравнивании электронной колонны, что не только минимизирует обслуживание, но и повышает вашу производительность.

Инновационная электронная оптика

Включая запатентованный Thermo Scientific источник UC+ (монохроматор), линзы ConstantPower и электростатическое сканирование для точной и стабильной обработки изображений.

Субнанометровое разрешение

Монохромная технология Elstar Schottky (UC+) FESEM и производительность с субнанометровым разрешением от 1 до 30 кэВ.

Последовательные результаты измерений

Verios идеально подходит для лабораторных метрологических приложений с возможностью калибровки по стандарту NIST при высоком увеличении.

Низкодозовая работа и оптимальный выбор контраста

Усовершенствованный набор высокочувствительных детекторов и фильтрации сигнала для работы с низкой дозой и оптимального выбора контрастности.

Легкий доступ к энергиям посадки луча

До 20 эВ с очень высоким разрешением для истинной характеристики поверхности.

Разрешение электронного луча	0,6 нм при 30 кВ STEM (опционально) 0,6 нм при 2-15 кВ 0,7 нм при 1 кВ 1,0 нм при 500 В
Стандартные детекторы	ETD, TLD, MD, ICD, измерение тока луча, Nav-Cam+, ИК-камера
Дополнительные детекторы	Дополнительные детекторы EDS, EBSD, RGB катодолюминесценция, Raman, WDS и другие
Сдвиг напряжения на столике	До -4000 В, входит в стандартную комплектацию
Очистка образца	Встроенный плазменный очиститель, включенный в стандартную комплектацию
Манипуляция образцом	Verios 5 US 5-осевая моторизованная эвцентрическая с пьезо-приведенными осями XYR. Диапазон XY 150 x 150 мм2, диапазон наклона 70°. Загрузка через дверь.	Verios 5 HP Камерная, сверхстабильная 5-осевая полностью пьезоприведённая Диапазон XY 100 x 100 мм2, диапазон наклона 70°. Загрузка автоматическая
Камера	Внутренняя ширина 379 мм, 21 порт