Ru
Сканирующий просвечивающий электронный микроскоп SPECTRA Ultra STEM
Описание
Техническая характеристика

Сканирующий просвечивающий электронный микроскоп (STEM) Spectra Ultra для передачи.

Для эффективной оптимизации изображений TEM и STEM, EDXи EELS требуется захват сигналов при разных ускоряющих напряжениях. Правила могут варьироваться от образца к образцу, но общепризнано, что: 1) лучшая визуализация выполняется при максимально возможном ускоряющем напряжении, выше которого произойдет видимое повреждение, 2) EDX, особенно при картировании, выигрывает от более низких напряжений с увеличенными сечениями ионизации, тем самым оптимизируя карты отношения сигнал-шум для данной общей дозы, и 3) EELS лучше всего работает при высоких напряжениях, чтобы избежать множественного рассеяния, что ухудшает сигнал EELS с увеличением толщины образца.

К сожалению, получение при разных ускоряющих напряжениях на одном и том же образце без потери интересующей области - все это во время одного сеанса микроскопии - невозможно. По крайней мере, до сих пор.

ПредставляемThermo Scientific Spectra 300 S/TEM:

•         Может работать при различных напряжениях (все напряжения от 30 до 300 кВ, для которых были приобретены выравнивания) в рамках одного сеанса микроскопии

•         Переход от ускоряющего напряжения к любому другому занимает около 5 минут

•         Это позволило реализовать новую концепцию EDX с телесным углом 4,45 срад (4,04 срад - с аналитическим двойным наклоном)

С новым Spectra Ultra S/TEM ускоряющее напряжение становится регулируемым параметром, как и ток зонда, а массивная система Ultra-X EDX позволяет проводить химическую характеристику материалов, слишком чувствительных к лучу в рамках обычного анализа EDX.

Spectra Ultra с коррекцией аберрации S/TEM предлагает ведущий в отрасли уровень возможностей характеристики для материаловедения и полупроводниковых применений с самым высоким разрешением на самых разных образцах.

Построен на ультрастабильном фундаменте

Spectra Ultra S/TEM поставляется на платформе, предназначенной для обеспечения беспрецедентного уровня качества механической стабильности за счет пассивной и (опциональной) активной вибрационной изоляции.

Как и Thermo Scientific Spectra 200 S/TEMи Spectra 300 S/TEM, система размещена в полностью обновленном корпусе со встроенным экранным дисплеем для удобной загрузки и удаления образцов. Впервые полная модульность и возможность апгрейда предложены между конфигурациями ПЭМ с переменной высотой, что обеспечивает максимальную гибкость для различных габаритов комнаты комнаты.

Без коррекции

  • Диапазон энергии: 0,2–0,3 эВ
  • Информационный предел: <100 пм
  • Разрешение STEM: <136 пм

С коррекцией зонда

  • Диапазон энергии: 0,2–0,3 эВ
  • Информационный предел: <100 пм
  • Разрешение STEM: <50 пм (125 пм при 30 кВ)

С коррекцией зонда и изображения + X-FEG/Mono

  • Диапазон энергии: 0,2–0,3 эВ
  • Информационный предел: <60 пм
  • Разрешение STEM: <50 пм при 300 кВ с >30 пА тока зонда
    Разрешение STEM: <125 пм при 30 кВ с >20 пА тока зонда

С коррекцией зонда и изображения + X-FEG/UltiMono

  • Диапазон энергии: 0,05 эВ (0,025 эВ при 60 кВ)
  • Информационный лимит: <60 пм
  • Разрешение STEM: <50 пм при 300 кВ >30 пА тока зонда
    Разрешение STEM: <125 пм при 30 кВ с >20 пА тока зонда

С коррекций зонда и изображения + X-CFEG

  • Диапазон энергии: 0,4 эВ
  • Информационный лимит: <70 пм
  • Разрешение STEM: <50 пм (<136 пм @ 30 кВ) с >100 пА тока зонда

Варианты конфигурации источника электронов

  • X-FEG Mono: полевой излучатель Шоттки и монохроматор с диапазоном настраиваемого энергетического разрешения от 1 эВ до <0,2 эВ
  • X-FEG UltiMono: полевая пушка Шоттки с ультрастабильным монохроматором и ускоряющим напряжением с перестраиваемым диапазоном разрешения энергии от 1эВ до <0,05 эВ (<0,025 еВ @ 60 кВ)
  • X-CFEG: Сверхвысокая яркость с внутренним энергетическим разрешением <0,4 эВ при 14нА общего тока луча и <0,3 эВ при общем токе луча 2 нА
  • Гибкий диапазон высокого напряжения от 30 до 300 кВ