Ru
Сканирующий (растровый) электронный микроскоп Quattro ESEM
Описание
Техническая характеристика
Лучший в своем классе для in-situ визуализации, динамические эксперименты с отличными аналитическими возможностями

Сканирующий электронный микроскоп для анализа материалов в условиях приближенных к реальным (ESEM).

Quattro ESEM - это очень гибкая платформа для динамических экспериментов in situ. Quattro ESEM позволяет ученым изучать материалы в различных условиях, таких как влажная, горячая или реактивная среда, при разработке новых материалов и продуктов. Он поддерживает эксперименты по охлаждению и нагреву как в высоком вакууме, так и в низком вакууме для удовлетворения самых широких потребностей. Эксперименты по охлаждению влажных материалов возможны с помощью охлаждения Пельтье или, если необходим режим просвечивающей микроскопии, с технологией Thermo Scientific WetSTEM. Кроме того, Quattro ESEM предоставляет несколько различных возможностей для нагрева образцов, как насыпных, так и порошковых. Пользователи могут выполнять динамические эксперименты при высоких температурах как в высоком вакууме, в режиме с низким вакуумом/ESEM (с двумя вариантами держателей для температур до 1000°C и 1400°C), так и в локализованной области для лучшего контроля изменения температуры (с держателем Thermo Scientific µHeater Holder).

Благодаря размеру камеры Quattro ESEM вмещает широкий спектр аксессуаров. Аналитические возможности включают в себя энергодисперсионную рентгеновскую спектроскопию (EDS) с портами для 180-градусного двойного крепления EDS, дифракцию электронного обратного рассеяния (EBSD) копланарно с EDS и дисперсионную рентгеновскую спектроскопию (WDS) по длине волны. Кроме того, Quattro ESEM поставляется с новой технологией Thermo Scientific ChemiSEM, уникальной возможностью «живой» элементной визуализации, которая полностью интегрирована в пользовательский интерфейс SEM.



Разрешение

  • Высоковакуумная визуализация
    • 0,8 нм при 30 кВ (STEM)
    • 1,0 нм при 30 кВ (SE) в высоком вакууме
    • 1,3 нм при 30 кВ (SE) в режиме низкого вакуума и ESEM
    • 3,0 нм при 1 кВ (SE)

Стандартные детекторы

  • ETD, низковакуумный SED (LVD), газовый SED для режима ESEM (GSED), ИК-камера

Дополнительные детекторы

  • Nav-Cam+, DBS, DBS-GAD, ESEM-GAD, ICD, STEM 3+, WetSTEM, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC и т. д.

Технология ChemiSEM (опционально)

  • Живая количественная заливка изображений SEM на основе энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS). Включены точки и идентификаторы, линии, регион, карты элементов и точное количественное определение состава.

Смещение напряжения  (замедление луча, опционально)

  • -4000 В до +50 В

Режим низкого вакуума

  • До 2600 Па (H2O) или 4000 Па (N2)

Манипулятор

  • 5-осевая моторизованная эвцентрическая схема, 110 x 110 мм2 с диапазоном наклона 105°. Максимальный вес образца: 5 кг в ненаклонном положении.

Стандартный держатель образца

  • Стандартный держатель SEM с несколькими образцами монтируется непосредственно на манипуляторе, содержит до 18 стандартных монтажных шайб (⌀ 12 мм), не требует инструментов для монтирования образца

Камера

  • Внутренняя ширина 340 мм, 12 портов, возможны три одновременных детектора EDS, два на 180°, копланарный EDS/EBSD ортогональный к оси наклона столика образцов

In-Situ аксессуары (опционально)

  • от -20° C до +60° C охлаждение Пельтье, интеграция в ПО
  • 1000° C низковакуумная/ESEM система нагрева, интеграция в ПО
  • Программно управляемая система нагрева 1100° C для режима высокого вакуума
  • 1400° C низковакуумная/ESEM система нагрева, интеграция в ПО
  • Интегрированный газовый блок: до 2 единиц (другие аксессуары могут ограничить количество доступных газовых вводов) для индуцированного лучом осаждения следующих материалов:
    • Платина
    • Вольфрам
    • Углерод
  • Манипуляторы
  • Криодержатель
  • Электрические зондирующие / многозондовые станции

Варианты программного обеспечения

  • Программное обеспечение для картдля автоматического захвата больших площадей с использованием плитки и сшива; корреляционные методики
  • Программное обеспечение AutoScript 4; интерфейс прикладного программирования на основе Python
  • Программное обеспечение для генерации шаблонов
  • Программное обеспечение Thermo Scientific TopoMaps для раскраски изображений, анализа изображений и 3D-реконструкции поверхности