Ru
Растровый электронный микроскоп Axia ChemiSEM
Описание
Техническая характеристика

Сканирующий (Растровый) электронный микроскоп для материаловедения с термоэмиссионным катодом. В базовую комплектацию включен новейший энергодисперсионный спектрометр-анализатор химического состава (EDS) с функцией ChemiSEM.

ChemiSEM в фоновом режиме регистрирует сигнал EDS спектрометра и в реальном времени одновременно производит анализ морфологии и количественный анализ химического состава образца. Уникальная технология ChemiSEM позволяет оператору мгновенно получать информацию о распределении элементов, находить области для детального исследования. 

Axia ChemiSEM - чрезвычайно гибкий прибор, позволяющий работать в режимах высокого и низкого вакуума с образцами весом до 10 кг и высотой до 128 мм, сохраняя при этом возможность перемещения в плоскости XY. Для удобной загрузки образца дверь камеры открывается полностью, освобождая широкий проем для работы двумя руками.

Помимо этого, прибор применим и для научных материаловедческих исследований благодаря дополнительным аналитическим приставкам, таким как нагревательный стол с максимальной температурой образца 1100°С и детектор катодолюминесценции.

Камера для образцов:

Размер камеры: 280 мм внутренняя ширина;

Перемещение столика: 120*120 (XY);

Вращение: n*360°;

Наклон: -15°/+90°;

Максимальный вес образца: 10 кг (с перемещением по XY);

Максимальная высота образца: 128 мм.

Рабочее ускоряющее напряжение:

200В — 30кВ.

Разрешение:

 

3 нм на 30 кВ (SE) — HiVac;

3 нм на 30 кВ (SE) — LoVac (опция);

8 нм на 3 кВ (SE) — HiVac;

7 нм на 3 кВ (BSE) — HiVac + Beam Deceleration (опция).