Сканирующий (Растровый) электронный микроскоп для материаловедения с термоэмиссионным катодом. В базовую комплектацию включен новейший энергодисперсионный спектрометр-анализатор химического состава (EDS) с функцией ChemiSEM.
ChemiSEM в фоновом режиме регистрирует сигнал EDS спектрометра и в реальном времени одновременно производит анализ морфологии и количественный анализ химического состава образца. Уникальная технология ChemiSEM позволяет оператору мгновенно получать информацию о распределении элементов, находить области для детального исследования.
Axia ChemiSEM - чрезвычайно гибкий прибор, позволяющий работать в режимах высокого и низкого вакуума с образцами весом до 10 кг и высотой до 128 мм, сохраняя при этом возможность перемещения в плоскости XY. Для удобной загрузки образца дверь камеры открывается полностью, освобождая широкий проем для работы двумя руками.
Помимо этого, прибор применим и для научных материаловедческих исследований благодаря дополнительным аналитическим приставкам, таким как нагревательный стол с максимальной температурой образца 1100°С и детектор катодолюминесценции.
Камера для образцов: |
Размер камеры: 280 мм внутренняя ширина; Перемещение столика: 120*120 (XY); Вращение: n*360°; Наклон: -15°/+90°; Максимальный вес образца: 10 кг (с перемещением по XY); Максимальная высота образца: 128 мм. |
Рабочее ускоряющее напряжение: |
200В — 30кВ. |
Разрешение:
|
3 нм на 30 кВ (SE) — HiVac; 3 нм на 30 кВ (SE) — LoVac (опция); 8 нм на 3 кВ (SE) — HiVac; 7 нм на 3 кВ (BSE) — HiVac + Beam Deceleration (опция). |